產品亮點 | 8030

8030 優勢

• 大型卡盤桌 – 支持最大 12” 圓形產品或 12”x12” 方形卡盤
•  靈活性 – 支持最大 3” 外徑的有輪或無輪刀片
• 高功率主軸，1.8KW 或 2.2KW
• 直觀操作介面，使用大尺寸 19” 觸摸屏顯示器
• 額外的 17” 顯示器，提升維護便利性

應用範圍

• 矽晶圓/分立器件
• 碳化矽 (SiC)
• 微機電系統 (MEMS)
• 表面聲波 (SAW) 器件
• 玻璃晶圓
• 封裝 (QFN, LED…)

功能特點

• 雙主軸 2”- 3”
• UV LED 固化站
• 料架可堆疊 2 個料架，最多可放 25 個框架
• 清洗單元 – 洗滌與乾燥

選配項目

• 刷子 + 高壓噴射
• 高壓噴射
• 霧化噴射

附加功能（選配）

• 條碼項目識別
• 靜電消除棒 – ESD 放電
• SECS / GEM 平台準備就緒
• 在線去毛刺刷
• 高度測量工具 (HMT)
• 激光映射系統 (LMS)