71TS
特點與優勢
- 支援標準切割及傾斜切割
- 從垂直（0°）快速切換至任意角度，最高可達15°
- 專用的可編程工作站，適用於不同角度設置
- 可進行現場微調
- 角度重複性達到0.1°
- 角度解析度達到0.1°
- 兩個預設角度：
– 第一角度為0˚
– 第二角度為0˚-15˚
– 可進行精細角度調整
相關文件
技術規格
| Specifications | 71TS | |
| Workpiece Size | Ø 8” | |
| Spindle | 60K rpm / 1.8 kW or 2.2kW | |
| Blade Size | 2” – 3” | |
| Y Axis | Control Resolution Cumulative Accuracy Indexing Accuracy | Linear encoder 0.1 µm 1.5 µm 1.0 µm |
| X Axis | Air Slide | |
| Z Axis | Resolution Repeatability | 0.2 µm 1.0 µm |
| Θ Axis | Repeatability Stroke | 4 arc-sec 380° |
| Utilities | Electrical | 200-240 VAC, 50/60 Hz, single phase |
| Dimensions | (W x D x H) mm Weight | 965 × 1300 × 1600 900kg |
材料
平面波導：
- 矽、硅上二氧化硅、磷化銦 (InP)
- 光纖波導
- 熔融石英
- 矽上的聚合物
- 砷化鎵 (GaAs)
- 鋰鈮氧 (LiNbO3)
光纖波導：
- 硅上絕緣體 (SOI)、硅上氧化物 (SIO)
- 鋰鈮氧 (LiNbO3)
- 熔融石英
