71MD
特點與優勢
技術規格
| Specifications | 71MD | |
| Workpiece Size | Ø 8” | |
| Spindle | 60K rpm / 1.8 kW | |
| Blade Size | 2” – 3” | |
| Y Axis | Control Resolution Cumulative Accuracy Indexing Accuracy | Linear encoder 0.1 µm 1.5 µm 1.0 µm |
| X Axis | Air Slide | |
| Z Axis | Resolution Repeatability | 0.2 µm 1.0 µm |
| Θ Axis | Repeatability Stroke | 4 arc-sec 380° |
| Utilities | Electrical | 200-240 VAC, 50/60 Hz, single phase |
| Dimensions | (W x D x H) mm Weight | 965 × 1300 × 1600 900kg |
材料
玻璃
PZT（壓電材料）
LED及LED在PCB封裝
傳感器與微機電系統 (MEMS)
光電元件
集成電路 (IC) 晶圓
汽車傳感器
陶瓷基板與電容器
硅上玻璃
低溫共燒陶瓷 (LTCC)
表面聲波 (SAW) 濾波器
封裝切割 (BGA, QFN)
