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8030 - 全自動切割機


特點

切割盤

適用於12” x 12”方形和12”圓形產品

支援6吋和8吋晶圓以及大型QFN多層基板

UV LED工作站

標準彈匣

可堆疊最多2個彈匣,最多25個框架。

清潔單元 洗滌與乾燥

選配:

  • 刷子 + 高壓噴水
  • 壓力噴水
  • 霧化噴水

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自動加載
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特點與優勢

  • 支援直徑達76.2mm (3″) 的刀片
  • Support up to 12″ X 12″ chuck
  • 靜電消除棒 – ESD 放電
  • 條碼項目識別
  • SECS GEM 平台就緒

TECHNICAL SPECIFICATIONS

Specifications8030
Workpiece SizeØ 8”, Ø 12” or 12" x 12" square
SpindleTwo facing 1.8 kW or 2.2 kW,
max. 60,000 rpm
Blade Size2” – 3”
Y1/Y2 AxisControl
Resolution
Cumulative Accuracy
Indexing Accuracy
Cutting Range
Linear encoder for each Y axis
0.1 µm
1.5 µm
1.0 µm
350mm
X AxisAir Slide
Z1 / Z2 AxisResolution
Repeatability
0.2 µm
1.0 µm
50 mm (for 2.188” blade OD)
Θ AxisRepeatability
Stroke
4 arc-sec
380°
Cleaning Station

Spinning speed Cleaning
Method
Full rinse and dry cycle
100-3,000 rpm
Atomized cleaning capabilities
UtilitiesElectrical200-240 VAC, 50/60 Hz, single phase
Dimensions(W x D x H) mm
Weight
1145 × 1687 × 1830
1,500kg