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7232 - 全自動切割機


特點與優勢

  • 高效的晶圓處理系統
  • 連續數位放大視覺系統
  • 刀片磨損預測算法,減少高度測量時間並提升單位產出 (UPH)
  • 霧化晶圓清洗技術,確保卓越的製程結果

相關文件

   Dicing Saws Catalog  

   7232

技術規格

Specifications7232
Workpiece SizeØ 12” or 253x243mm
Spindle60K rpm / 1.8 kW or 2.2KW
Blade Size2” – 3”
Y AxisControl
Resolution
Cumulative Accuracy
Indexing Accuracy
Linear encoder
0.1 µm
1.5 µm
1.0 µm
X AxisAir Slide
Z AxisResolution
Repeatability
0.2 µm
1.0 µm
Θ AxisRepeatability
Stroke
4 arc-sec
380°
Cleaning Station
Spinning speed Cleaning
Method
Full rinse and dry cycle
100-2,000 rpm
Atomized cleaning capabilities
UtilitiesElectrical200-240 VAC, 50/60 Hz, single phase
Dimensions(W x D x H) mm
Weight
1100 × 1785 × 1700
1,350kg

材料

  • 硅上玻璃
  • 微機電系統 (MEMS)
  • 砷化鎵 (GaAs) 晶圓
  • 封裝切割 (BGA & QFN)
  • 低溫共燒陶瓷 (LTCC)
  • 印刷電路板 (PCB)
  • 硬質材料