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7920 DUO - 自動切割機


特點與優勢

  • 適用於直徑達10″x10″的夾具
  • ‘X’軸空氣軸承,實現平穩運動和超高切割品質
  • 具備高解析度光學的自動化
  • 多層基板切割
  • 客製化製程解決方案

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技術規格

Specifications7920 Duo
Workpiece Size10" × 10"
SpindleTwo facing 1.8 kW or 2.2 kW shaft lock spindles, max. 60,000 rpm
Blade Size2" - 3"
Y1/Y2 AxisControl
Resolution
Cumulative Accuracy
Indexing Accuracy
Linear encoder for each Y axis
0.1 µm
1.5 µm
1.0 µm
X AxisAir Slide
Z1 / Z2 AxisResolution
Repeatability
Stroke
0.2 µm
1.0 µm
30 mm (for 2.188" blade OD)
Θ AxisRepeatability
Stroke
4 arc-sec
380°
UtilitiesElectrical200-240 VAC, 50/60 Hz, single phase
Dimensions(W x D x H) mm
Weight
875 X 975 X 1450
900 kg

材料

  • 矽晶圓 / 分立元件
  • 硅碳化物(SiC)
  • MEMS
  • SAW設備
  • 玻璃晶圓
  • 封裝(QFN、LED等)