切割周邊設備

UV 解膠系統 AV-57L

桌上型解UV膠機

手動晶圓貼片機 966, 966L

手動貼片機

半自動晶圓貼膜機 967, 967L

半自動貼片

二氧化碳注入機 (CO2 氣泡機) 947, AB-47

CO2注入機(降低純水阻抗)

水回收系統 AR-927

專為封閉循環、均勻供應切割水而設計

WAFER CLEANER 977, 977L

晶圓清洗機

主軸冷卻器 937-A

主軸冷卻機(水冷)